고 정밀 JGS1 JGS2 융합 실리카 유리 광 부품

고정밀 JGS1 JGS2 융합 석영 유리 광학 부품

1. 재료 구성

• JGS1 융합 석영: 뛰어난 자외선(UV) 투과율, 특히 심자외선(185-250 nm) 범위에서 뛰어나고 수산기(OH) 함량이 낮은 합성 석영 유리.

• JGS2 융합 석영: 우수한 적외선(IR) 투과율과 더 높은 열적 안정성을 가진 합성 석영 유리로, 다른 광학 성능을 위해 더 높은 수산기 함량을 특징으로 합니다.

• 고정밀 가공: 부품은 서브 마이크론 표면 정확도와 엄격한 치수 공차를 달성하기 위해 고급 CNC 연삭, 다이아몬드 터닝 및 연마 기술을 사용하여 제조됩니다.

2. 주요 광학 및 물리적 특성

• 스펙트럼 투과 범위:

  • JGS1: 185 nm(심자외선)에서 2.5 µm(근적외선)까지의 우수한 투과율.

  • JGS2: 260 nm(UV)에서 3.5 µm(중적외선)까지의 우수한 투과율.

• 열적 및 기계적 안정성: 극도로 낮은 열팽창 계수(0.55 x 10⁻⁶/K), 높은 열충격 저항성 및 강력한 기계적 내구성.

• 표면 품질: 최소한의 표면 손상으로 레이저 등급 표면 마감(예: λ/10 평탄도, 10-5 스크래치-디그)을 달성할 수 있습니다.

• 레이저 손상 저항: 엑시머, UV 및 고출력 레이저 응용 분야에 적합한 높은 임계값.

3. 핵심 기능

• 정밀 광선 투과 및 제어: 파면 왜곡, 산란 또는 흡수를 최소화하여 UV에서 IR 광선을 조작합니다.

• 빔 조향 및 초점: 복잡한 광학 경로에서 고정밀 렌즈, 창, 프리즘 및 거울 역할을 합니다.

• 환경 및 열 장벽: 넓은 온도 범위에서 안정성을 유지하면서 변동성이 심한 환경에서 민감한 내부 광학 장치를 보호합니다.

• 시스템 핵심 인터페이스: 정확한 광학 정렬과 최소한의 신호 손실을 요구하는 응용 분야에서 최적의 성능을 보장합니다.

4. 주요 응용 분야

• 반도체 포토리소그래피: 심자외선(DUV) 레이저를 사용하는 스테퍼 및 스캐너의 핵심 부품.

• 고출력 레이저 시스템: 엑시머, Nd:YAG 및 파이버 레이저용 창, 렌즈 및 빔 전달 광학 장치.

• 천문학 및 우주 광학: 열적 안정성이 필요한 망원경 거울, 위성 렌즈 및 분광기 부품.

• 분석 및 생명 과학 기기: UV-Vis 분광 광도계 셀, 형광 검출기 창 및 현미경 광학 장치.

• 산업 계측 및 검사: 레이저 간섭계, 웨이퍼 검사 시스템 및 광학 좌표 측정기에 사용되는 정밀 광학 장치.