반사 방지 코팅 광학 유리 기판 (검사 시스템용)

반사 방지 코팅 검사 시스템용 광학 유리 기판

소재:

• 기본 기판: 고정밀 보로실리케이트 유리 (예를 들어, 보로플로이트 33) 또는 녹은 실리카, 예외적인 평면성, 열 안정성 및 화학 저항성을 위해 선택됩니다.

• 코팅 기술: 정밀 마그네트론 스프터링 또는 증기 퇴적에 의해 적용되는 다층 다이전트릭 코팅 (예를 들어, MgF2, SiO2, Ta2O5).

• 설계 유형: 광대역 AR (보기-NIR 스펙트럼) 또는 V 코팅 (일파선 최적화) 로 사용자 정의 할 수 있습니다.

주요 속성:

1. 초저 반사성: <0.5%의 표면 반사성을 달성합니다.

2. 높은 전송 효율성: 목표 파장의 99.5% 이상의 광 전송을 제공하여 신호 손실을 최소화합니다.

3. 각성 안정성: 경사 영상 촬영에 중요한 0-45 ° 인센스 각도에서 성능을 유지합니다.

4. 환경 내구성: 지속적인 작동 하에서 탈층화, 습도 및 UV 분해에 저항 합니다.

5. 표면 품질: 아랑스트롬 이하의 거칠성 (<5Å Ra) 은 빛 산란 유물을 방지합니다.

6. 열 및 화학 저항성: 청소 용매 및 열 순환 (-60 °C ~ + 300 °C) 에 견딜 수 있습니다.

주요 기능:

• 산란 반사를 제거하고 고 정밀 광학 검사 시스템에서 대조를 극대화합니다.

• 표면 반사로 인한 유령 이미지와 번쩍이는 것을 최소화합니다.

• 정확한 결함 검출을 위해 신호와 소음 비율을 향상시킵니다.

• 복잡한 광학적 경로에서 빛의 강도를 유지합니다.

검사 시스템에서의 주요 응용 프로그램:

1. 반도체 측정:

   • 웨이퍼 결함 스캐너

   • EUV 리토그래피 검사 광학

   • 마스크 정렬 시스템

2. 자동 광 검사 (AOI):

   • PCB 조립 확인

   • 디스플레이 패널 결함 탐지 (OLED/LCD)

3. 생의학적 영상 촬영:

   • 병리학에 대한 현미경 목표

   • 유동 세포측정 렌즈

4. 산업용 비전 시스템:

   • 레이저 삼각 센서

   • 기계 비전 렌즈

5. 항공우주 NDT:

   • 초음파 탐사 창문

   • 터빈 검사용 엔도스코프 광학

6. 광학 테스트:

   • 광적 인터페로미터 판

   • 분광계 창문

본질적으로:반사 방지 코팅 광학 유리 기판정밀 설계된 부품으로 중요한 검사 시스템에서 반사로 인한 정확성 문제를 해결합니다.초평한 보로실리케이트 또는 융합 실리케이트 기판에 첨단 다층 다이렉트릭 코팅을 적용하여, 그들은 거의 보이지 않는 표면 성능을 달성 (<0.5% 반사율), 미크론 / 미크론 미세 규모의 결함 검출을 가능하게합니다.이 기판은 반도체 측정의 신뢰성을 직접적으로 향상시킵니다., AOI 장비, 그리고 모든 광자가 중요한 생의학적 영상 도구.